高度灵活的超声波系统，用于微结构的过程安全最终清洗

没有大于1µm的颗粒。

微结构领域的技术进步和更大基板的加工，使得POG Prazisionsoptik Gera需要一个新的终端清洗系统。. UCM AG的工厂概念令人信服. 这家公司, 能够清洗未加工的晶圆以及结构和涂层基板。. “无颗粒大于1µm”的清洁度要求在工艺安全方面得到满足。.

蔡司在基拉的工厂于1991年关闭。. 前高管决定, POG Prazisionsoptik Gera GmbH的诞生是为了保持和进一步发展光学制造的传统，在其Gera工厂的管理布局。. 该公司目前有140名员工。. 他们开发和生产定制的产品。, präzisionsoptische零件, 全光谱组件和设备. 这些产品来自世界各地的机械制造客户。, 《Messtechnik, 工业Bildverarbeitung, 医疗和激光技术, 用于半导体工业和航空航天. 另一方面，该公司已成为标准化和定制光学微结构的制造商。, 比如Strichplatten, Skalenscheiben, USAF-Testtargets, 微盲和校准标准, 在国际上成名. 在这方面，POG也可以在内部进行整个开发和制造过程。. “我们最近扩大了微结构的生产，考虑到技术的可能性和可加工基板的大小。. 这也需要一个新的最终清洁系统。”, Jan Schubach报道, POG的总经理.

要求最高纯度

光学微结构主要由b270玻璃和石英玻璃以及陶瓷和玻璃陶瓷材料制成。. 一个Endreinigung, 穿过尘土, 必须去除最细的抛光剂和指纹残留物, 在未处理的基板上以及在结构和涂层之后进行. 因为在某些情况下，只有2 μ m的结构被应用到基板上。, 有洁净度要求:颗粒不大于1µm. POG与外部顾问共同开发了这些非常苛刻的清洁任务的解决方案，并与各种系统制造商进行了讨论。.

一个灵活的清洁系统，而不是几个专门的清洁系统

“这些是针对特定应用的不同清洗概念，如口罩清洗或半导体行业特定基材配置的清洗。. 为了完成我们的任务，我们可能需要三个不同的工厂。. 因此，我们求助于UCM。. 我们已经从这家系统制造商那里得到了一个内部清洁系统，我们的顾问在其他项目中也与该公司有过良好的经验。”, Jan Schubach解释道. 与POG和顾问一起，瑞士UCM AG进行了修订。, 生态清洁集团公司, 他们的系统概念，并使其适应. “UCM非常灵活地接受了我们的建议，并贡献了自己在光学领域建造清洗机方面的丰富经验。”, 首席执行官记得.

该设施共有11个监测站，其中7个是潜水站。. 它们是为以下工艺步骤而设计的:, 多频超声波清洗(40和80千赫), 用Megasch清洁, 冲水, Feinspülen, 红外干燥通过同步输送带和卸料.

湿装以及所有的清洗和冲洗过程都是用VE(全盐)水进行的。. 根据清洗程序的不同，冲洗器的水是级联的。, 被丢弃或单独处理. 这有助于高质量的清洁, 以及UCM开发的所有盆地的四边溢出。. 洗涤剂或洗涤剂从底部注入浴缸。, 然后从四面八方穿过. 因此，净化后的污染立即从池中清除。. 一方面，这可以防止零件在拆卸过程中再次受到污染，也可以防止污垢在盆内积聚。. 其次，基质被密集而均匀地处理。.

另一个特别的特点是水槽。. 在这里，水被泵入盆地，压力如此之大，以至于湍流形成。. 这些，加上货物的流动，目前已经足够了。, 在没有超声波辅助的情况下冲洗基材. 快速轻松地应对未来的挑战, 随后准备了超声波系统和控制技术的集成。.

洁净室的全自动清洗过程

清洁系统集成在一个清洁房间里. 要清洗的, 高达10英寸的基板以特殊的盒式磁带的形式手动插入到工厂的运输框架中。. 然后，员工选择适当的部件特定的清洗程序。. 它存储在工厂控制系统中，包括, 每个池的治疗参数，如超声波的功率和频率，以及停留时间. 确保每个病房的治疗时间得到严格遵守, 灵活的控制允许输入“优先级时间”. “我们目前在不同的基板上有10个项目，在所有的清洁任务中都取得了出色的效果。, 从一开始. 自2015年3月以来，该系统一直运行良好。. 在如此复杂的设施中常见的儿童疾病也没有发生。”, Jan Schubach满意地报道.

作者:多丽丝·舒尔茨